1：关键词：

晶圆预切割、可调刀架、切割宽度、刀外径、驱动系统、压力传感器、千分尺检测、横向微调、刀具清洁系统。

2：技术参数：

• 刀架长度：500~1700mm。

• 切割宽度：150~800mm。

• 刀外径：130mm。

• 传动系统速度：20~150m/min。

• 上、下刀压力传感器。

• 千分尺检测精度：0.002~0.02mm。

• 横向微调精度：0.02~0.05mm。

• 刀具清洁系统。

3：技术特点：

• 适应刀架长度500-1700mm，切割宽度150-800mm。

• 刀外径130mm，配备单独驱动系统，速度20~150m/min。

• 刀架上装有上下刀压力传感器，检测上下刀之间的接触压力。

• 刀架设有可调式千分尺检测功能，精度为0.002~0.02mm。

• 刀架设有侧向微调功能，精度为0.02~0.05mm。

• 配有刀具清洁系统。

4：应用：

用于晶圆预切割。