1：关键词：

压延设备、晶圆、厚度测量、压延压力、辊隙调整、在线调整、压力设定。

2：技术规格：

• 厚度测量功能

• 压力/辊隙模拟计算

• 在线辊缝调整功能

• 压力设定处理

3：技术特点：

• 配备卷取前厚度测量功能，可检测准确的来料厚度。

• 根据来料厚度，模拟轧机轧制晶圆所需的精确压力/辊隙，并进行预调整。

• 系统要求辊缝在线可调，且速度极快，配备了辊缝在线调整功能。

• 压力值可以根据进来的卷筒材料来设定。

4：应用：

用于轧制设备中的晶圆轧制工序。